◇ 基板洗浄処理剤

EcoPeeler^™の表面反応制御技術は、研磨により脆弱になった層の除去、研磨残渣の除去等に有効な機能を多く取り揃えています。
特に、基板基質にダメージなく残渣成分を化学的に除去するメカニズムは、洗浄装置の物理的除去機構と組み合わさることで、より効果的な洗浄プロセスとなります。
有機素材・材料に対してダメージがないという特徴を生かして、フレキシブル基板などの有機基板の洗浄にも効果的に使用いただけます。 デバイスメーカ様、基板メーカ様だけでなく、装置メーカの皆様にもEcoPeeler^™の機能性、使用感の良さには定評があります。