EcoPeeler | SE-800 Series

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EcoPeeler^™ SE-800 Series

Product Information

□ Functions : 機能
□ Features : 特徴
□ Lineup : 主なグレード
□ Material : 材料
◇ Equipment / Method : 装置 / 方法
◇ Experiment：ビーカー試験の器具
☆ Contact : お問い合わせ

□ Functions

□ Primary Functions

✓ 超精密なTEOS、PSG、BPSGのエッチング選択性制御技術
✓ 超精密なSiO₂のエッチングレートコントロール技術
✓ Slight etchingによる残渣除去
✓ 高い金属汚染除去性能
✓ 高い材料選択性
✓ ウェット処理後のSIO₂表面の疎水化の付与

□ Secondary Functions

✓ 多くの量産実績に基づく簡単な薬液管理
✓ 循環使用においても安定した薬液特性
✓ 長いバスライフ

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□ Features

□ 超精密な選択エッチング制御技術

EcoPeeler^™ SE-800シリーズは、独自のイオンの電離制御技術と表面反応制御技術を応用して、超高精度でSiO₂のエッチャントの制御を可能にしたSlight etchingによる残渣除去剤です。
特に複数のエッチャントが作用するPSG、BPSGといった層間絶縁膜に対して、エッチャントイオンの生成制御に加えて独自の界面反応技術を作用させることで、TEOS、PSG、BPSGのエッチングレートを選択比１にまでコントロールできることが特徴です。
この特性を生かして、高アスペクトコンタクトホール（HARC）のエッチング・アッシング残渣除去やドライエッチングでの形状不良を調整するためのウェットエッチング剤として用途は多方面に渡ります。

□ 高い残渣・金属汚染除去性

EcoPeeler^™ SE-800シリーズは、Slight ethcingによるlift-off機構により残渣を除去します。このため、薬液単体はもちろん、その他装置側での物理洗浄機構を組み合わせることでより高い除去効果を得ることができます。したがって、より基材に対するダメージをなくしたい場合により効果的な洗浄アプリケーションとなります。
また、基材となるリン酸のリガンド効果による金属イオンの再付着を防ぐ機能を持つため、金属不純物の除去性が極めて高いことが特徴です。

□ 表面濡れ性の改善

EcoPeeler^™ SE-800シリーズは、薬液処理後のSiO₂の表面を疎水性に改質する機能を付与することができます。この機能によって、水の表面張力によるパターン倒壊のリスクを低減し、プロセス設計に大きなアドバンテージをもたらします。

□ 高い量産安定性

EcoPeeler^™ SE-800のベースとなるEcoPeeler^™ SE-700シリーズは多数の量産実績を誇り、量産安定性のための管理・制御技術はそのままSE-800シリーズでも応用できます。
量産での循環使用における薬液の濃度管理方法は、積み重ねたデータにより最適な手法を提供できます。このため、量産での使用では水分濃度の管理のみで安定なエッチングレートを維持することができます。

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□ 主なグレード

□ Main Products

品番	主要用途	その他用途	その他用途	溶媒	pH
SE-801	高アスペクトコンタクトホール洗浄	層間絶縁膜ウェットエッチング	SiO₂疎水化処理	H₂O	3〜4
SE-802	高アスペクトコンタクトホール洗浄	層間絶縁膜ウェットエッチング	SiO₂疎水化処理	H₂O	3〜4
SE-803	高アスペクトコンタクトホール洗浄	層間絶縁膜ウェットエッチング	SiO₂疎水化処理	H₂O	3〜4

□ カスタマイズ

□ プロセス、構造に応じたSiO₂のエッチングレートに調整できます。
□ エッチング量の多い場合はEcoPeeler^™ SN-30シリーズをおすすめいたします。

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□ Material

□ EcoPeeler^™ SE-800シリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

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◇ Equipment / Method

◇ 洗浄装置適応性

◇ 装置適応表
品番	Dip	スプレー	枚葉	パドル	直接リンス	循環使用
SE-801	●	●	●	●	●	●
SE-802	●	●	●	●	●	●
SE-803	●	●	●	●	●	●

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

◇ 装置部材適応表
品番	温度	ステンレス	PVC	PP	PE	フッ素樹脂	シリコーン樹脂
SE-801	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-802	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-803	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
高温での使用に関してはご相談ください。

□ 他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇ 薬液接触安全性（無機溶液）
品番	塩酸	硫酸	硝酸	過酸化水素水	フッ化水素酸	アンモニア水
SE-801	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-802	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-803	注１	注２	注１	●	●	注１、２
注１：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。注２：高濃度の場合、発熱の恐れあり。

◇ 薬液接触安全性（有機溶液）
品番	TMAH	IPA	PGMEA/PGME	DMSO	NMP	DMF
SE-801	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-802	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-803	注１	注２	注２	注２	注２	注２
注１：高濃度の場合、発熱の恐れあり。注２：結晶物の析出あり。

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◇ Experiment：ビーカー試験の器具の材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性
品番	ホウケイ酸ガラス	石英	ステンレス	PE	PP	PET	フッ素樹脂	TPX	紙
SE-801	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-802	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-803	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
注１：長時間の使用は不可

◇ 治具・器具材質

◇ 治具・器具材質適応性
品番	SUS	PVC	PP	PE	ABS	PS	アクリル	フッ素樹脂	セラミック	竹	木
SE-801	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-802	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-803	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
注１：事前の確認をお願いいたします注２：長期間の使用は不可

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☆ CONTACT : お問い合わせ

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。

□ ご質問、お問い合わせ、サンプルのご要望はこちから

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