EcoPeeler | SE-700 Series

Lineupに戻る

EcoPeeler^™ SE-700 Series

Product Information

□ Functions : 機能
□ Features : 特徴
□ Lineup : 主なグレード
□ Material : 材料
◇ Equipment / Method : 装置 / 方法
◇ Experiment：ビーカー試験の器具
☆ Contact : お問い合わせ

□ Functions

□ Primary Functions

✓ 超精密なSiO₂のエッチングコントロール技術
✓ Slight etchingによる残渣除去
✓ 高い金属汚染除去性能
✓ 高い材料選択性
✓ 物理洗浄と組み合わせたより高い除去性能の向上

□ Secondary Functions

✓ 多くの量産実績に基づく簡単な薬液管理
✓ 循環使用においても安定した薬液特性
✓ 長いバスライフ

ページトップに戻る

□ Features

□ 超精密なエッチングレート制御技術

EcoPeeler^™ SE-700シリーズは、独自のイオンの電離制御技術と表面反応制御技術を応用して、超高精度でSiO₂のエッチャントの制御を可能にしたSlight etchingによる残渣除去剤です。
APM、DHFやBHFなどではコントロールが難しい極微細部での残渣除去に対して、EcoPeeler^™ SE-700シリーズはサブオングストロームレベルでTEOSなどのSiO₂のエッチングレートをコントロールすることができます。
イオン状態を制御されたエッチャントは極めて安定な濃度を維持する機構を持つため、循環使用においても水分濃度の管理のみで安定なエッチングレートを維持することができます。これらは多くの量産ラインでの実績に基づき安定した管理方法のノウハウがあります。

□ 高い残渣・金属汚染除去性

EcoPeeler^™ SE-700シリーズは、Slight ethcingによるlift-off機構により残渣を除去します。このため、薬液単体はもちろん、その他装置側での物理洗浄機構を組み合わせることでより高い除去効果を得ることができます。したがって、より基材に対するダメージをなくしたい場合により効果的な洗浄アプリケーションとなります。
また、基材となるリン酸のリガンド効果による金属イオンの再付着を防ぐ機能を持つため、金属不純物の除去性が極めて高いことが特徴です。

□ 高いエッチング選択性

EcoPeeler^™ SE-700シリーズは、SiO₂に対するエッチング制御機能を有しながら、W、Ti、Ta、Cuといった金属、SiN、SiONなどの窒化物、Si、有機材料に対してダメージ性がありません。このため、パターン、デバイスにダメージなく、選択的にlift-offによる残渣除去を行うことができます。
また、異種の層間絶縁膜が積層された構造に対しては、SE-800シリーズで層間絶縁膜間のエッチング選択性を制御することができますのでそちらをご検討ください。

ページトップに戻る

□ 主なグレード

□ Main Products

品番	主要用途	その他用途	その他用途	溶媒	pH
SE-700	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	W配線残渣除去	H₂O	3〜5
SE-701	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	W配線残渣除去	H₂O	3〜5
SE-702	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	W配線残渣除去	H₂O	3〜5
SE-703	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	W配線残渣除去	H₂O	3〜5
SE-705	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	W配線残渣除去	H₂O	3〜5
SE-740	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.146	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.146	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.159	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.161	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.164	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.166	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.167	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.171	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5
SE-700 No.172	ゲート・コンタクト残渣除去	基板洗浄	Post I.I. アッシング残渣除去	H₂O	3〜5

□ カスタマイズ

□ 目的、プロセスに応じたエッチングレートの調整ができます。
□ 装置の物理除去機構に応じた最適化ができます。

ページトップに戻る

□ Material

□ EcoPeeler^™ SE-70Xシリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

□ EcoPeeler^™ SE-740

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

□ EcoPeeler^™ SE-700 No.150シリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

□ EcoPeeler^™ SE-700 No.160シリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

□ EcoPeeler^™ SE-700 No.170シリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

ページトップに戻る

◇ Equipment / Method

◇ 洗浄装置適応性

◇ 装置適応表
品番	Dip	スプレー	枚葉	パドル	直接リンス	循環使用
SE-70Xシリーズ	●	●	▲	●	●	●
SE-740	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.150シリーズ	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.160シリーズ	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.170シリーズ	●	●	●	●	●	●
▲：チャンバーの定期的な洗浄が必要

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

◇ 装置部材適応表
品番	温度	ステンレス	PVC	PP	PE	フッ素樹脂	シリコーン樹脂
SE-70Xシリーズ	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-740	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.150シリーズ	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.160シリーズ	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
SE-700 No.170シリーズ	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
高温での使用に関してはご相談ください。

□ 他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇ 薬液接触安全性（無機溶液）
品番	塩酸	硫酸	硝酸	過酸化水素水	フッ化水素酸	アンモニア水
SE-70Xシリーズ	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-740	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-700 No.150シリーズ	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-700 No.160シリーズ	注１	注２	注１	●	●	注１、２
SE-700 No.170シリーズ	注１	注２	注１	●	●	注１、２
注１：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。注２：高濃度の場合、発熱の恐れあり。

◇ 薬液接触安全性（有機溶液）
品番	TMAH	IPA	PGMEA/PGME	DMSO	NMP	DMF
SE-70Xシリーズ	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-740	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-700 No.150シリーズ	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-700 No.160シリーズ	注１	注２	注２	注２	注２	注２
SE-700 No.170シリーズ	注１	注２	注２	注２	注２	注２
注１：高濃度の場合、発熱の恐れあり。注２：結晶物の析出あり。

ページトップに戻る

◇ Experiment：ビーカー試験の器具の材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性
品番	ホウケイ酸ガラス	石英	ステンレス	PE	PP	PET	フッ素樹脂	TPX	紙
SE-70Xシリーズ	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-740	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-700 No.150シリーズ	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-700 No.160シリーズ	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
SE-700 No.170シリーズ	×	×	×	●	●	●	●	●	注１
注１：長時間の使用は不可

◇ 治具・器具材質

◇ 治具・器具材質適応性
品番	SUS	PVC	PP	PE	ABS	PS	アクリル	フッ素樹脂	セラミック	竹	木
SE-70Xシリーズ	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-740	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-700 No.150シリーズ	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-700 No.160シリーズ	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
SE-700 No.170シリーズ	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
注１：事前の確認をお願いいたします注２：長期間の使用は不可

ページトップに戻る

☆ CONTACT : お問い合わせ

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。

□ ご質問、お問い合わせ、サンプルのご要望はこちから

ページトップに戻る