□  アルミ残渣の除去性

EcoPeeler^™ KF1010をはじめとするKF1000シリーズは、その高いアルミニウムのドライエッチング残渣除去性に特徴があります。アルミニウムに対するエッチング性は、溶解後のイオンの拡散制御により、反応速度を遅くしているため、残渣成分・アルミナとアルミニウムのエッチング選択性を高くし、プロセスマージンを広くすることが可能となりました。
一般的なアルミ配線用残渣除去剤と比較して、配線表面の残渣除去性が高いため、リーク電流の発生が極めて少なく、特にセンサーデバイスでの特性向上に効果が高いのが特徴です。

□  タングステンへの適応性

アルミ配線除去剤では、タングステンプラグへの適応性が極めて重要で、特に有機溶媒系での薬液では、アルミ配線とタングステン間の局部電池効果により、プラグ抜けが発生することがあります。
EcoPeeler^™ KF1000シリーズは、電気化学的にプラグ抜けを防止する反応メカニズムを設計時から考慮しているため、タングステンプラグ抜けが発生しません。
また、タングステン表面の酸化層の除去性が高いため、コンタクトホールや、タングステン配線のアッシング残渣除去、CMP後の洗浄に多くの量産ラインで採用されています。

□  高い金属不純物、汚染除去性

EcoPeeler^™ は、金属イオンの捕捉性を高める反応制御を、生体内反応から学び、薬液の基本機構に組み込んでいます。
これにより、主剤成分による金属汚染をイオン化してからの再付着を防ぐことかでき、金属汚染の高い除去性を持つことが可能となりました。さらに、リン酸緩衝液の効果により、高い汚染除去性も有するため、処理後の表面の清浄度は極めて高くなります。
これは、Siなどのwafer表面だけではなく、ガラス、光学素材、ステンレスなど金属表面でも同様の効果を発揮することができます。

□  高い環境親和性

EcoPeeler^™ の起源であるKF1000シリーズは、含有成分を全て生体内化合物で構成しています。生体内反応から学び、生体内化合物を用いることが、環境への親和性がもっとも高い方法であると考え、環境にも、生物にも安全性が高い薬液組成となっています。使用後は、肥料などへの再資源化ができるため、総合的に環境負荷の低い製品となっています。

□ Main Products

□  EcoPeeler^™ KF1010

□  EcoPeeler^™ KF1410

□  EcoPeeler^™ KF1440

◇  洗浄装置適応性

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

□  他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇  ビーカー・容器材質適応性

◇ 治具・器具材質

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。