EcoPeeler | KF3000 Series

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EcoPeeler^™ KF3000 Series

Product Information

□ Functions : 機能
□ Features : 特徴
□ Lineup : 主なグレード
□ Material : 材料
◇ Equipment / Method : 装置 / 方法
◇ Experiment：ビーカー試験の器具
☆ Contact : お問い合わせ

□ Functions

□ Primary Functions

✓ Cu表面の酸化銅の除去
✓ Cuに対してダメージレス
✓ SOG、FSG、Low-k、Ultra Low-k、Extreme Low-kに対してダメージレス
✓ 層間絶縁膜表面のエッチング残渣の高い除去性
✓ タングステンシリサイド、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイド表面の残渣除去
✓ タングステン表面の残渣除去

□ Secondary Functions

✓ 簡単な薬液管理
✓ 溶存酸化による酸化防止機能
✓ 高い安全性

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□ Features

□ 高いVia底残渣除去性

Cu配線のvia底のCuOxを主成分とする残渣除去性が非常に高く、Cuに対するエッチングがありません。
pHがpH8付近もしくは6.5付近であるため、水リンス時のpHの腐食域への変動がないため、水リンス時に腐食が生じません。
また、EcoPeeler^™ の表面制御技術により、処理後の表面は脱離可能な被膜形成をしているため、工程間での酸化が生じにくいのが特徴です。

□ Porous Low-kへの高い適応性

EcoPeeler^™ KF3000シリーズは、Porous Low-kなどの脆弱な層間絶縁膜、Dry Etchingによるダメージ層に対する侵襲性がないため、処理後の誘電率の変動が生じないのが大きな特徴です。

□ コンタクトホールへの幅広い適応性

第一配線層として多く用いられるタングステン表面の洗浄はもちろん、タングステンシリサイド、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイド、ドープドシリコンへのコンタクト表面もダメージレスで洗浄することができるため、コンタクト洗浄に多く用いられています。

□ すべて生体内化合物で構成される薬液

EcoPeeler^™ KF3000シリーズは、すべて生体内化合物に由来する化合物で構成されます。
これは、EcoPeeler^™ の理念に基づき複数の表面化学反応、イオンの挙動制御、固液界面における分子膜の形成など生体内反応から独自に反応設計した結果です。したがって、環境負荷、安全性、作業性ともに安心して使用できる薬液です。

□ 多くの採用実績

国内のCu配線用除去剤としては非常に多くの実績をもち、EcoPeeler^™ KF6000 LSシリーズと双璧をなす量産実績を持ちます。
量産時の管理方法など、多くの採用実績があってこそできる対応がこの薬液の最大の強みです。

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□ 主なグレード

□ Main Products

品番	主要用途	その他用途	溶媒	pH
KF3015	Cu配線用除去剤	コンタクトホール洗浄	H₂O	7.5〜8.5
KF3220	Cu配線用除去剤	コンタクトホール洗浄	H₂O	5〜7

□ カスタマイズ

□ 本シリーズに関しては上記品番のみの対応とさせて頂きます。
□ カスタマイズが必要な場合は KF6000 LSシリーズ、KF6000 CTシリーズを推奨させて頂いております。

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□ Material

□ EcoPeeler^™ KF3000シリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

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◇ Equipment / Method

◇ 洗浄装置適応性

◇ 装置適応表
品番	Dip	スプレー	枚葉	パドル	直接リンス	循環使用
KF3015	●	●	●	●	●	●
KF3220	●	●	●	●	●	●

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

◇ 装置部材適応表
品番	温度	ステンレス	PVC	PP	PE	フッ素樹脂	シリコーン樹脂
KF3015	40 [℃]^＊	●	●	●	●	●	●
KF3220	40 [℃]^＊	●	●	●	●	●	●
^＊：高温での使用に関してはご相談ください。

□ 他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇ 薬液接触安全性（無機溶液）
品番	塩酸	硫酸	硝酸	過酸化水素水	フッ化水素酸	アンモニア水
KF3015	注２	注２	注１、２	●	注２	注１
KF3220	注１	注２	注１	●	●	注１
注１：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。注２：高濃度の場合、発熱の恐れあり。

◇ 薬液接触安全性（有機溶液）
品番	TMAH	IPA	PGMEA/PGME	DMSO	NMP	DMF
KF3015	注１	注２	注２	注２	注２	注２
KF3220	注３	注２	注２	注２	注２	注２
注１：高濃度の場合、発熱の恐れあり。注２：結晶物の析出あり。注３：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。

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◇ Experiment：ビーカー試験の器具の材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性
品番	ホウケイ酸ガラス	石英	ステンレス	PE	PP	PET	フッ素樹脂	TPX	紙
KF3015	注１	●	●	●	●	●	●	●	注２
KF3220	注１	●	●	●	●	●	●	●	注２
注１：長期的な使用は注意が必要注２：一時的な使用に限る

◇ 治具・器具材質

◇ 治具・器具材質適応性
品番	SUS	PVC	PP	PE	ABS	PS	アクリル	フッ素樹脂	セラミック	竹	木
KF3015	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
KF3220	●	●	●	●	●	●	●	●	注１	注２	×
注１：事前のご確認をお願いいたします。注２：長期間の使用は不可

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☆ CONTACT : お問い合わせ

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。

□ ご質問、お問い合わせ、サンプルのご要望はこちから

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