EcoPeeler | SN-05 Series

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EcoPeeler^™ SN-05 Series

Product Information

□ Functions : 機能
□ Features : 特徴
□ Lineup : 主なグレード
□ Material : 材料
◇ Equipment / Method : 装置 / 方法
◇ Experiment：ビーカー試験の器具
☆ Contact : お問い合わせ

□ Functions

□ Primary Functions

✓ 極微細部に最適な低速Siエッチング
✓ 多くの材料に対してダメージレス
✓ 酸化タングステンの選択的除去性

□ Secondary Functions

✓ 量産安定使用に最適化した装置レシピ
✓ 高い異物・有機汚染除去性

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□ Features

□ 微細部の精密なSiエッチング制御技術

EcoPeeler^™ SN-0X、SN-1X、SN-2Xシリーズは、微細部のSiを精密にエッチングするためのSiエッチング液です。EcoPeeler^™ 独自の反応制御技術により、Siのエッチング加速反応と減速反応の双方を機能させ、厳密にエッチングレートをコントロールできるグレードです。
また、W、WNに対するダメージ性がないため、Siのみを効果的に除去することができます。このため、ハードマスクや犠牲膜にPoly-Siを使用し、その残膜の除去や、ゲートのリセスエッチングなどに効果的に活用することができます。

□ ダメージレス洗浄

EcoPeeler^™ SN-014シリーズは、SN−0X、SN-1X、SN-2XシリーズのSiエッチング制御技術を応用し、エッチングの減速機能のみを作用させているため、Siに対してエッチングが生じません。このため、タングステン酸化層のみに対して反応が作用するため、選択的にW残渣を除去することができます。

□ 量産安定性

EcoPeeler^™ SN-0X、SN-1X、SN-2Xは量産での連続使用を前提に開発されているため、Siのエッチングに伴うエッチングレードの変動を念頭にいれた安定的使用方法のノウハウを確立しています。
弊社の枚葉洗浄装置を用いた装置レシピの確立により、量産ラインでもシームレスにプロセス展開をすることが可能です。

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□ 主なグレード

□ Main Products

品番	主要用途	その他用途	溶媒	pH
SN-05	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	13〜
SN-05L	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	13〜
SN-15	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	12〜
SN-15L	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	12〜
SN-17L	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	12〜
SN-25	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	11〜
SN-25C	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	11〜
SN-25L	Siリセスエッチング	Si残膜除去	H₂O	11〜
SN-014	ゲート洗浄	タングステンコンタクト・プラグ洗浄	H₂O	6〜7
SN-014a	ゲート洗浄	タングステンコンタクト・プラグ洗浄	H₂O	6〜7

□ カスタマイズ

□ 本シリーズは、既存のグレードでの対応とさせて頂きます。
□ 温度条件、装置レシピについてはお問い合わせください。

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□ Material

□ EcoPeeler^™ SN-0X、SN-1X、SN-2Xシリーズ

□ 除去対象
□ エッチングレート制御材料
□ ダメージレス材料

□ EcoPeeler^™ SN-014シリーズ

□ 除去対象
□ ダメージレス材料

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◇ Equipment / Method

◇ 洗浄装置適応性

◇ 装置適応表　（代表的グレード例）
品番	Dip	スプレー	枚葉	パドル	直接リンス	循環使用
SN-0Xシリーズ	●	●	●	▲	●	●
SN-1Xシリーズ	●	●	●	▲	●	●
SN-2Xシリーズ	●	●	●	▲	●	●
SN-014シリーズ	●	●	●	▲	●	●
▲：詳細はお問い合わせください。

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

◇ 装置部材適応表(代表的グレード例)
品番	温度	ステンレス	PVC	PP	PE	フッ素樹脂	シリコーン樹脂
SN-0Xシリーズ	25 [℃]	×	●	●	●	●	×
SN-1Xシリーズ	25 [℃]	×	●	●	●	●	×
SN-2Xシリーズ	25 [℃]	×	●	●	●	●	×
SN-014シリーズ	25 [℃]	●	●	●	●	●	●
高温での使用に関してはご相談ください。

□ 他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇ 薬液接触安全性（無機溶液）（代表的グレード例）
品番	塩酸	硫酸	硝酸	過酸化水素水	フッ化水素酸	アンモニア水
SN-0Xシリーズ	注２	注２	注２	●	注２	注１
SN-1Xシリーズ	注２	注２	注２	●	注２	注１
SN-2Xシリーズ	注２	注２	注２	●	注２	注１
SN-014シリーズ	注１	注２	注２	●	●	注１
注１：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。注２：高濃度の場合、発熱の恐れあり。

◇ 薬液接触安全性（有機溶液）（代表的グレード例）
品番	TMAH	IPA	PGMEA/PGME	DMSO	NMP	DMF
SN-0Xシリーズ	●	注１	注２	●	●	●
SN-1Xシリーズ	●	●	●	●	●	●
SN-2Xシリーズ	●	注１	●	●	●	●
SN-014シリーズ	●	●	●	●	●	●
注１：高濃度の場合、発熱の恐れあり。注２：結晶物の析出あり。

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◇ Experiment：ビーカー試験の器具の材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性

◇ ビーカー・容器材質適応性
品番	ホウケイ酸ガラス	石英	ステンレス	PE	PP	PET	フッ素樹脂	TPX	紙
SN-0Xシリーズ	×	●	×	●	●	●	●	●	×
SN-1Xシリーズ	×	●	×	●	●	●	●	●	×
SN-2Xシリーズ	×	●	×	●	●	●	●	●	×
SN-014シリーズ	注１	●	×	●	●	●	●	●	注１
注１：長時間の使用は不可

◇ 治具・器具材質

◇ 治具・器具材質適応性
品番	SUS	PVC	PP	PE	ABS	PS	アクリル	フッ素樹脂	セラミック	竹	木
SN-0Xシリーズ	×	●	●	●	●	●	×	●	注１	×	×
SN-1Xシリーズ	×	●	●	●	●	●	×	●	注１	×	×
SN-2Xシリーズ	×	●	●	●	●	●	×	●	注１	×	×
SN-014シリーズ	×	●	●	●	●	●	×	●	注１	×	×
注１：事前の確認をお願いいたします

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☆ CONTACT : お問い合わせ

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。

□ ご質問、お問い合わせ、サンプルのご要望はこちから

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