□  SiO₂の選択的エッチング

EcoPeeler^™ SN-30シリーズは、EcoPeeler^™ の表面反応制御技術とイオン電離制御技術を組み合わせ、SiN、Si、TiN、W、CuにダメージなくSiO₂を選択的にエッチングする薬液です。
DHFやBHFではSiN、Siに対するエッチングが許容できないプロセスに最適な薬液となります。

□  イオンチャンネルによるスイッチング機能

EcoPeeler^™ SN-30シリーズは、独自の最先端表面反応制御技術を盛り込んでおり、ウェットエッチング中に形成するエッチング抑制被膜を水リンス中にイオンスイッチング機能で完全に崩壊させ除去する機能を有します。
これは最先端の分子認識化学と生体内イオンチャンネル反応を応用したもので、BHFなどで懸念される細部への有機物の残留が生じない特性をもたらします。さらに、水リンス後に表面に物質の残留が生じないために、ウォーターマークの発生がなく製品の歩留まり向上に有用なアプリケーションとなります。

□ Main Products

□  EcoPeeler^™ SN-30シリーズ

◇  洗浄装置適応性

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

□  他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇  ビーカー・容器材質適応性

◇ 治具・器具材質

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。