□  ダメージレスで高いタングステン残渣除去性

EcoPeeler^™ SN-300シリーズは、反応標的を金属酸化物とした選択的残渣除去液です。
特にタングステン表面に形成されるタングステン酸化層に対しては、金属タングステン、Si、SiN、SiON、SiO₂、Ti、TiNに対してダメージを与えず、圧倒的に高速で酸化層のみを除去することができます。

□  ダメージレス洗浄、アッシング前処理洗浄

EcoPeeler^™ SN-300シリーズは、標的とする金属酸化物をAl₂O₃、MoO₃、WO_xといったエッチング・アッシング残渣として形成されやすい物質を対象としています。
特に母体となる金属に対してのダメージが生じないために、ダメージレス洗浄、アッシング前処理洗浄に最適なアプリケーションとなります。

□  高い薬液浸透性

極微細部での反応を基本に薬液設計されているために、極微細部に対する薬液の浸透性、反応均一性が非常に高いことが大きな特徴です。
また、装置方式を問わず、周辺材料へのダメージもないことから、現状の薬液での周辺材料へのダメージに懸念がある場合や除去性が不十分である場合に現状の薬液の代替液として非常に高い適応性を持ちます。

□ Main Products

□  EcoPeeler^™ SN-300シリーズ

◇  洗浄装置適応性

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

□  他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇  ビーカー・容器材質適応性

◇ 治具・器具材質

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。