□  高いpH制御と汚染除去性

EcoPeeler^™ KF5000シリーズは、リン酸緩衝液を基材とした水溶液で、非常に高いpH制御性を持ちます。また、リン酸基質であり汚染の除去性が高いため、各材料に対してのpH最適化をすることで、基材にダメージなく汚染を除去することが可能になります。

□  高い金属酸化物除去性

EcoPeeler^™ KF5000シリーズの基材であるリン酸緩衝液は、金属イオンとリン酸イオンとの間での錯形成により金属表面の酸化層を効果的に除去する機能を持ちます。また、特定の金属表面では不動化皮膜を形成するため、薬液条件と処理条件の最適化により、金属表面の酸化物を完全に除去した後、不動化皮膜を形成することも可能となります。この制御技術がKF5000シリーズの基盤技術となります。

□  有機材料にダメージレス

EcoPeeler^™ KF5000シリーズは、軽微に物理吸着している付着油分などの有機物の除去性は高いですが、きちんと成膜された有機物に対しては侵襲性がありません。この特性により、有機材料表面の汚染除去、残渣除去を基材にダメージレスで行うことができます。

□  エッチング選択性

EcoPeeler^™ KF5000シリーズは、そのpH制御性により電位-pH図（Pour-baix Diagram）を効果的に活用することができます。各材料に対して、基材濃度を一定にすることで、pHと電位の関係を電気化学的に計測することができます。これにより、各材料に適したpHを選択することができるようになり、例えば積層膜で特性の材料だけをウェットエッチングしたい場合の最適化や、ガルバニック腐食が生じないpH域の特定などエッチングの選択性を効果的に行うことができます。

□ Main Products

□  EcoPeeler^™ KF5000シリーズ

◇  洗浄装置適応性

◇ 装置部材適応性

詳細な適応性についてはお問い合わせください。

□  他の薬液との接触

詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。

◇  ビーカー・容器材質適応性

◇ 治具・器具材質

☆ 製品について

製品についてのお問い合わせは以下のページよりお願いいたします。