EcoPeeler™ NZM Series
Product Information
□ Functions
□ Primary Functions
- ✓ Mo、W、Cr、Vなどの酸化物を選択的に除去
- ✓ 金属、半導体、絶縁膜、機能性材料、有機材料にダメージレス
- ✓ 硫化モリブデン層の剥離機能
- ✓ 酸性からアルカリ性まであらゆるpHレンジで機能
□ Secondary Functions
- ✓ 優れた薬液機能の安定性
- ✓ 広い温度レンジで機能性を発揮
- ✓ EcoPeeler™ の他のグレードに機能付与が可能
□ Features
□ 多重酸形成金属の残渣除去性
EcoPeeler™ NZMシリーズは、金属イオンがオキソ酸を形成し、縮合することで多核化する多重酸形成金属の残渣を、金属をエッチングすることなく除去する薬液です。
多重酸形成金属は、溶解によってイオン化すると多核化することで拡散性が悪くなるため、残渣の除去が難しいことが特徴です。
EcoPeeler™ NZMシリーズは、Mo、W、Cr、Vといった多重酸形成金属に対して、拡散性を高める表面反応機構を有しているため、これら金属の酸化物、エッチング残渣、アッシング残渣を金属をエッチングすることなく、短時間で除去できることが特徴です。
□ 高い汎用性
EcoPeeler™ NZMシリーズの多重酸形成金属の残渣除去メカニズムは、他のEcoPeeler™ 中においても共存させることができ、非常に汎用性が高い機能です。
他の薬液にMo、W、V、Crといった材料の残渣除去性を求めたい場合は、EcoPeeler™ NZMの機能を付加するだけで特性を得ることができます。
□ 主なグレード
□ Main Products
| 品番 | 主要用途 | その他用途 | その他用途 | その他用途 |
|---|---|---|---|---|
| NZM16 | 金属積層配線の残渣除去 | モリブデンエッチング ・アッシング残渣除去 |
アッシング前処理洗浄 | 硫化モリブデン層の剥離 |
| EUR2 | モリブデンエッチング ・アッシング残渣除去 |
アッシング前処理洗浄 | 硫化モリブデン層の剥離 | 金属配線ダメージレス洗浄 |
□ Material
□ EcoPeeler™ NZM16
- □ 除去対象
- □ エッチングレート制御材料
- □ ダメージレス材料
-
モリブデンエッチング・アッシング残渣、タングステンエッチング・アッシング残渣、アルミニウムエッチング・アッシング残渣
酸化モリブデン、硫化モリブデン、酸化タングステン、酸化バナジウム、酸化クロム
-
Al、AlCu、AlMg、AlMgCu、AlSi、AlSiCu
-
Mo、W、WSi、WN、TiN、Ti、Ta、TaN、Cu、High-K
Si、Poly-Si、Doped Poly-Si、SiN、SiO2、TEOS、PSG、BPGS、SOG
化合物半導体、化合物半導体基板、圧電材料、圧電基板、高誘電材料、強磁性体材料 有機材料、フォトレジスト、反射防止膜、カラーフィルター、ナノインプリント用樹脂、有機基板、フレキシブル基板
□ EcoPeeler™ EUR2
- □ 除去対象
- □ ダメージレス材料
-
モリブデンエッチング・アッシング残渣、タングステンエッチング・アッシング残渣、アルミニウムエッチング・アッシング残渣
酸化モリブデン、硫化モリブデン、酸化タングステン、酸化バナジウム、酸化クロム
-
Mo、W、WSi、WN、TiN、Ti、Ta、TaN、High-K
Al、AlCu、AlMg、AlMgCu、AlSi、AlSiCu、Cu
Si、Poly-Si、Doped Poly-Si、SiN、SiO2、TEOS、PSG、BPGS、SOG
化合物半導体、化合物半導体基板、圧電材料、圧電基板、高誘電材料、強磁性体材料 有機材料、フォトレジスト、反射防止膜、カラーフィルター、ナノインプリント用樹脂、有機基板、フレキシブル基板
◇ Equipment / Method
◇ 洗浄装置適応性
| 品番 | Dip | スプレー | 枚葉 | パドル | 直接リンス | 循環使用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
| EUR2 | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
◇ 装置部材適応性
詳細な適応性についてはお問い合わせください。
| 品番 | 温度 | ステンレス | PVC | PP | PE | フッ素樹脂 | シリコーン樹脂 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | 25 [℃] | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
| EUR2 | 25 [℃] | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
□ 他の薬液との接触
詳細、その他の薬液についてはお問い合わせください。
| 品番 | 塩酸 | 硫酸 | 硝酸 | 過酸化水素水 | フッ化水素酸 | アンモニア水 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | 注１ | 注２ | 注１ | ● | ● | 注１、２ |
| EUR2 | 注２ | 注２ | 注２ | ● | 注２ | 注１ |
|
注１：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。 注２：高濃度の場合、発熱の恐れあり。 |
||||||
| 品番 | TMAH | IPA | PGMEA/PGME | DMSO | NMP | DMF |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | 注１、３ | 注２ | 注２ | 注２ | 注２ | 注２ |
| EUR2 | 注３ | 注２ | 注２ | 注２ | 注２ | 注２ |
|
注１：高濃度の場合、発熱の恐れあり。 注２：結晶物の析出あり。 注３：高濃度の場合、発ガスの恐れあり。 |
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◇ Experiment：ビーカー試験の器具の材質適応性
◇ ビーカー・容器材質適応性
| 品番 | ホウケイ酸ガラス | 石英 | ステンレス | PE | PP | PET | フッ素樹脂 | TPX | 紙 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | 注１ | |
| EUR2 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | 注１ | |
| 注１：長時間の使用は不可 | ||||||||||
◇ 治具・器具材質
| 品番 | SUS | PVC | PP | PE | ABS | PS | アクリル | フッ素樹脂 | セラミック | 竹 | 木 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NZM16 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | 注１ | 注２ | × |
| EUR2 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | 注１ | 注２ | × |
| 注１：事前の確認をお願いいたします 注２：長期間の使用は不可 |
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