◇ SiO₂スライトエッチング剤

EcoPeeler^™ 独自のEtchant Controlling TechnologyとSurface Reaction Controlling Technologyを採用し、サブオングストロームレベルのエッチングレートをコントロールすることのできるSiO₂スライトエッチング液です。
極めて安定的にエッチングレートを制御する技術を有しているため、微細な領域におけるエッチング残渣、アッシング残渣の除去、異物の除去等スライトエッチングを必要とするプロセスで有効な薬液です。
また、対象とする物質に対しての表面張力、リフトオフ効果、表面の改質などの機能を付与できるため、活用用途は多岐に渡ります。