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Pre-ashing Treatmemnt Cleaning
EcoPeeler™ Application
◇ アッシング前処理洗浄
◇ Pre-ashing Treatment Cleaning
ドライエッチング後のレジスト除去をアッシングで行いたいが、ドライエッチング残渣が多く、アッシング後の残渣除去が難しいときに有効な方法です。
EcoPeeler™の最大の特徴である材料選択性とダメージレス洗浄の機能を活用し、アッシング前に材料にダメージフリーでレジスト表面、加工面表面に付着したエッチング残渣を除去あるいは脆弱化します。これにより、アッシング後の残渣が低減あるいは除去しやすい状態となり、プロセス設計が容易になります。
| 適応材料 | : |
Si、Poly-Si、Doped-Si、α-Si、TEOS、P-SiO、SOG、 PSG、BPSG、SiN、ALD-SiN、SiON、SiCN、TiN、Ti、 TaN、Ta、W、WSi、WN、HfSiO2、HfSiON、HfO2 Al、AlCu、AlSi、AlMg、AlMgCu、AlSiCuなど ナノインプリントモールド樹脂、光学フィルター フォトレジスト、反射防止膜など |
| 主な機能 | : |
アッシング後の残渣の低減・脆弱化 ドライエッチング残渣の脆弱化・除去 異物・汚染の除去 |
| 付加機能 | : |
適応材料に対するダメージレス化 アッシング前の表面金属汚染の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |