Optical Device & Lens
EcoPeeler™ Application
◇ 研磨残渣除去
◇ 研磨残渣除去
EcoPeeler™は、半導体用除去剤と同期間、光学レンズ用除去剤として採用し続けられています。
EcoPeeler™の特徴である精密なpH制御技術と表面反応制御技術によって、光学レンズ表面の研磨残渣、ダメージ層の除去を精密に行うことができます。
また、これらのグレードは、装置・配管のスケール、金属汚染除去にも用いることができるため、レンズ加工の生産において有用なアプリケーションとなっています。
| 主な機能 | : |
光学レンズ・デバイスの研磨残渣除去 光学レンズ・デバイスの研磨ダメージ層の除去 |
| 付加機能 | : |
装置・配管のスケール除去 装置・配管の金属汚染除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000 シリーズ
EcoPeeler™ KF4000シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Clean シリーズ |
◇ パターンダメージレス洗浄
◇ パターンダメージレス洗浄
EcoPeeler™のダメージレス洗浄は、光学デバイスのスリット構造、グリッド構造のパターニング後の洗浄に最適な選択です。
パターニング材料に問わず、残渣、異物、汚染を除去し、パターン形状を保つことのできるEcoPeeler™を用いることで、光学特性、歩留まり改善の有意義なアプローチとなります。
| 適応材料 | : |
ガラス、SiO2、SiNなどSi化合物 Al、Ti、Mg等の金属及びその合金 有機材料、フレキシブル基板 光学基板各種 |
| 主な機能 | : |
エッチング・アッシング残渣の除去 表面金属汚染の除去 異物・汚染の除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料にダメージレス 装置内の汚染、スケール、金属不純物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
◇ ナノインプリント
◇ ナノインプリント
半導体用残渣除去剤で培ったごく微細領域の反応制御技術と、有機物にダメージレスであるEcoPeeler™は、ナノインプリントプロセスに最適な薬液です。
モールド樹脂を塗布する前の表面状態の均一化は、膜厚のコントロールに不可欠です。異物・汚染を除去しながら表面状態を均一化できるEcoPeeler™の成膜前洗浄は、歩留まり改善、プロセスの安定化に非常に有用なアプローチとなります。
また、パターニング後の残渣除去にも、パターン形状を保持するために、ダメージレス洗浄、アッシング前洗浄と２通りのアプローチができるラインナップを揃えております。
| 適応材料 | : |
モールド樹脂、有機材料、フレキシブル基板材料 ナノインプリント樹脂 Siウェーハ、ガラス基板、化合物半導体基板、圧電基板など Si化合物、Ti、Ta、W、Al、Mgなどの金属及びその化合物物 |
| 主な機能 | : |
ドライエッチング・アッシング後の残渣除去 アッシング前洗浄 異物・汚染の除去 変質層の除去 |
| 付加機能 | : |
適応材料に対するダメージレス化 異物・汚染の除去 表面の改質 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
| 適応材料 | : |
モールド樹脂、有機材料、フレキシブル基板材料 Siウェーハ、ガラス基板、化合物半導体基板、圧電基板など Si化合物、Ti、Ta、W、Al、Mgなどの金属及びその化合物物 |
| 主な機能 | : |
異物・汚染の除去 変質層の除去 |
| 付加機能 | : |
適応材料に対するダメージレス化 表面の改質 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
◇ 樹脂表面洗浄
◇ 樹脂表面洗浄
EcoPeeler™の有機材料に対するダメージレスである特徴は、樹脂の積層やスパッタリング前の表面汚染の除去に非常に効果的です。
| 洗浄対象 | : | 有機材料、ガラス、Si基板、サファイヤなどの光学基板 |
| 主な機能 | : |
光学材料表面の洗浄 異物・汚染の除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料に対してダメージレス 装置・配管のスケール除去 装置・配管の金属汚染の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000シリーズ
EcoPeeler™ KF4000シリーズ EcoPeeler™ KF5000シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Clean シリーズ |