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Metal Oxcide Remove
EcoPeeler™ Application
◇ 金属酸化層除去
◇ Metal Oxcide remove
ゲート周辺の金属表面に形成される金属酸化層のみを短時間で除去し、金属、シリコンその他の周辺材料に対してダメージレスであることが最大の特徴です。コンタクト不良、埋め込み不良等の問題に対して有効なプロセス構築ができます。
| 除去対象 | : | 酸化モリブデン、酸化タングステンなど |
| ダメージレス適応材料 | : | Mo、W、WSi、WN、TiN、Ti、Ta、TaN、 High-k、SiO2、TEOS、BPSG、PSG、 SiN、SiON、SiCNなど |
| 主な機能 | : | モリブデン、タングステン表面の酸化層の除去 |
| 付加機能 | : | 異物・汚染除去 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ NZMシリーズ |