EcoPeeler | エッチング・アッシング残渣除去

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Dry Etching Residue

EcoPeeler^™ Application

◇ ドライエッチング残渣除去

◇ Al配線ドライエッチング残渣除去

EcoPeeler^™の根源であるAl配線用の除去剤です。すべてのグレードで直接水リンスが可能で有機溶媒による中間リンスが不要です。
用途に応じて３つのタイプを準備しております。

◇ Al配線用除去剤：スタンダード

スタンダードグレードは、一般的な配線エッチング後のラビットイヤーとアッシング残渣を除去します。電気化学的に反応メカニズムを最適化しているため、タングステンプラグへのダメージが生じず、プラグ抜けが発生しません。また、サイドウォール、ラビットイヤーともにしっかりと除去するため、処理後のデバイスのリーク電流が低く、特にセンサーデバイスでは良好なデバイス特性を得ています。
適応材料	:	Al、AlCu、AlSi、AlSiCu、AlMgCu、 TiN、Ti、Mo、W、SiO₂、TEOS、SOGなど
主な機能	:	ドライエッチング残渣、アッシング残渣の除去タングステン表面の酸化層・変質層の除去タングステンプラグ抜け防止機構
付加機能	:	異物・汚染の除去
対応薬液	:	EcoPeeler^™ KF1000シリーズ EcoPeeler^™ KF5000シリーズ EcoPeeler^™ NZMシリーズ

◇ Al配線用除去剤：ダメージレス洗浄

ダメージレス洗浄グレードでは、配線ピッチが狭いデバイスやナノインプリントでパターニングした配線の洗浄に特化し、配線にダメージフリーな薬液となっています。
適応材料	:	Al、AlCu、AlSi、AlSiCu、AlMgCu、 TiN、Ti、Mo、W、SiO₂、TEOS、SOGなど
主な機能	:	配線材料にダメージレスドライエッチング残渣、アッシング残渣の除去異物・汚染の除去
付加機能	:	表面張力の最適化
対応薬液	:	EcoPeeler^™ NZMシリーズ EcoPeeler^™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler^™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler^™ SN-300シリーズ

◇ Al配線用除去剤：積層金属配線用

積層金属配線用グレードは、Alと多種金属を積層した構造に適応させたグレードとなっています。エッチング残渣だけでなく、金属表面の酸化層を配線層にダメージフリーで除去することができます。また、ガルバニック腐食の発生を設計時から抑制する機構を組み込んでいるため、残渣除去後に発生しがちなガルバニック腐食が生じません。
適応材料	:	Al、AlCu、AlSi、AlSiCu、AlMgCu、 Mo、W、Ni、Co、SiO₂、TEOS、SOGなど
主な機能	:	多層金属配線のドライエッチング残渣、アッシング残渣の除去配線酸化層の除去ガルバニック腐食抑制機構
付加機能	:	ピールオフ機構異物・汚染の除去
対応薬液	:	EcoPeeler^™ NZMシリーズ EcoPeeler^™ SN-300シリーズ EcoPeeler^™ SE-800シリーズ

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