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| 対象材料 | : | Quartz (SiO2) |
| 主な機能 | : | エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
エッチングレート制御 異物・汚染除去 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SE-700シリーズ |