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| 対象材料 | : | Al2O3：アルミナ、サファイア |
| 主な機能 | : |
基板洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : | ー |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
| 対象材料 | : | Al2O3：アルミナ、サファイア |
| 主な機能 | : |
研磨残渣除去 異物・汚染除去 |
| 付加機能 | : | 装置・配管のスケール除去、装置部材の金属不純物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF4000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ |