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対象材料 | : | 銅タン(WCu) |
主な機能 | : | 酸化層除去、エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
付加機能 | : |
異物・汚染除去 他の周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ |
対象材料 | : |
Si、Poly-Si、Doped-Si、α-Si (エッチング対象) WCu、W、WSi、WN、SiN、SiON、SiO2 (保護対象) |
主な機能 | : | 微細領域の低速選択性Siエッチング |
付加機能 | : |
周辺材料へのエッチング選択性 W化合物に対するダメージレス 異物・汚染除去 アッシンング前洗浄 |
対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-05シリーズ |