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| 対象材料 | : | AlLi3 (アルミリチウム) |
| 主な機能 | : |
研磨残渣除去 異物・汚染除去 |
| 付加機能 | : | 装置・配管のスケール除去、装置部材の金属不純物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF4000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ |
| 対象材料 | : |
AlLi3 (アルミリチウム) アルミニウム、アルミニウム合金 |
| 主な機能 | : | アルミリチウム、アルミニウム、アルミ合金、SiO2のウェットエッチング |
| 付加機能 | : | SiN、TiN、Siに対してダメージレス |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-30シリーズ |